Scannáin Alfa-Ta Mínithe: Rialú Céime, Íonacht, agus Sputtering Spriocanna
Is é alfa-tantalam, scríofa α-Ta i bpáipéir agus sonraíochtaí fab, an chéim chiúbach comhlacht-lárnach de tantalam, agus is é an chéim is mian le ciorcaid chandamach sársheoltóra agus stoic leathsheoltóra ardleibhéil. Tantalam sputter isteach ar sliseog sileacain teocht an tseomra agus a ocsaíd dhúchasach fós i bhfeidhm agus is gnách go bhfaigheann tú céim béite ina ionad: thart ar naoi n-uaire an fhriotachta, teocht trasdula sársheoltach faoi bhun 1 K, agus comhéadan ocsaíd a chuireann teorainn ciúin ar an gcomhchuibheas.
An leagan gearr: is éard atá i gcéim alfa toradh a ndéanann tú innealtóireacht air, ní grád a ordaíonn tú. Cinneann teocht an tsubstráit, ciseal síolta, brú oibre agus tiús scannáin cén chéim a fhásann; déanann cion ocsaigine, íonacht agus struchtúr gránach an tantalam a dtosaíonn tú ag cinneadh cé chomh leathan is atá an fhuinneog próisis sin. Nuair a iompraíonn miotail ag teacht isteach an iomarca ocsaigine nó nítrigine interstitial, stopann tiúnadh paraiméadar ag obair, agus aimsíonn tú é ar na sonraí comhleanúnachais nó ar chomhaireamh na gcáithníní tar éis na sliseog a phróiseáil cheana féin.
Luachanna ionadaíocha lár-réimse ón litríocht do scannáin sputtered tantalum; athraíonn luachanna iarbhír le coinníollacha sil-leagan agus ábhar eisíontais. Tarraingítear gach painéal ar a scála féin.
Is í an bhearna sin idir an dá bharra an chúis a gcaitear le rialú céime mar fhadhb próisis seachas fonóta ábhair. Seo a leanas cad é α-Ta, conas a fhoirmíonn sé in uirlis sputter, áit ar féidir leis an slabhra soláthair é a bhriseadh, agus cad iad na réimsí sonraíochta ar fiú argóint fúthu sula síníonn tú ordú ceannaigh.
Cad é Alfa-Ta, agus Cá As a dTagann Beta-Ta
Tá dhá phearsantacht scannán tanaí ag Tantalum agus ní bhíonn aon rud ar bith acu. Is é alfa-tantalam an chéim ciúbach comhlacht-lárnach bulc-chobhsaí. Is céim theitragonal meitechobhsaí é béite-tantalam a fhoirmíonn go héasca nuair a thagann adaimh i dtír ar dhromchla fuar, éagruthach nó ocsaídithe agus nach bhfuil an fuinneamh acu chun iad féin a shocrú isteach i laitís BCC. Ar wafer teocht an tseomra ag iompar nanaiméadar nó dhó de SiO2 dúchais, is é béite an toradh réamhshocraithe. Tugann foshraith téite nó ciseal síl criostalach an t-iarmhéid ar an mbealach eile.
Is tantalam fíor an dá chéim. Tá an difríocht struchtúrach, agus taispeánann sé i ngach uimhir leictreach a bhfuil tábhacht le sruth.
| Maoin | α- Ta (BCC) | β- Ta (tetragonal) |
|---|---|---|
| Struchtúr criostail | Ciúbach corplárnach, mórchobhsaí | tetragonal metastable (cineál β-U) |
| Friotaíocht teocht an tseomra | Timpeall 15 go 25 µΩ·cm | Timpeall 150 go 200 µΩ·cm |
| Teocht trasdula superconducting | Gar do 4.4 K | Thart ar 0.5 go 0.9 K |
| Coinníoll tipiciúil mar thaisceadh | Foshraith téite nó ciseal síolta Nb / TaN | Teocht an tseomra ar ocsaíd dhúchasach |
| Úsáidí coitianta gléas | Miotal Qubit, athshonators caillteanas íseal, bacainn idirleata copair | Friotóirí scannán tanaí, roinnt stoic bhacainn |
| Iompar ar anneal | Cobhsaí go teocht ard | Aistrítear i dtreo alfa ag teocht ardaithe |
Conas α-Ta Films Form Le linn Sputtering
Déantar beagnach gach α-Ta a úsáidtear i bhfeistí inniu a thaisceadh ag sputtering magnetron, cibé acu DC, RF nó HiPIMS, ó spriocanna tantalam sa raon 4N go 5N. Tá an chonclúid chéanna á baint ag staidéir fáis le déanaí a dhéanann comparáid idir foshraitheanna ardaithe sapphire, sileacain agus photoresist: ní roghnaíonn an scannán a chéim féin, roghnaíonn an próiseas é.
Ceithre luamhán a shocraíonn an chéim
- Teocht an tsubstráit. Os cionn thart ar 400 °C ar sileacain, faigheann adaimh dóthain soghluaisteachta dromchla chun socrú isteach i laitís BCC; faoina bhun sin, núiclítear an chéim tetragonal ar dtús agus fanann sí go minic.
- Sraitheanna síolta. Tairgeann ciseal tanaí Nb, TaN nó Stáin teimpléad le meaitseáil laitíse níos dlúithe le α-Ta ná mar a dhéanann SiO2 éagruthach, agus cuireann sé bac ar idirleathadh ocsaigine ón tsubstráit freisin.
- Brú oibre agus fuinneamh ian. Dlúsaíonn brú níos ísle le buamáil ian fuinniúil measartha an scannán atá ag fás agus bíonn sé i bhfabhar núicléas alfa, agus bíonn claonadh ag brú an-ard béite colúnaí scagach a thabhairt.
- Tiús agus ráta. Is féidir le hábhar céime sileadh le tiús, mar sin ní fhéadfaidh stack a núiclítear in alfa fanacht ann trí chiseal 200 nm má bhrúitear an ráta sil-leagan ró-chrua.
Cén fáth go bhfuil tábhacht fós ag baint leis an mbunábhar
Is troid i gcoinne ocsaigine agus nítrigine é gach ceann de na luamháin sin i ndáiríre. Ardaíonn neamhíonachtaí interstitial an bacainn fuinnimh don chéim BCC agus déanann siad béite a chobhsú, agus is é sin go beacht an fáth go gcaitheann spriocanna le teorainneacha ocsaigine agus nítrigine níos déine fuinneoga próisis níos leithne agus go dtugann siad seomra níos mó duit chun teocht agus brú a choigeartú.
Má úsáideann do chairn ciseal síl niobium, an teimpléad is coitianta le haghaidh fás alfa, tá an smacht íonachta céanna ag teastáil ón síolmhiotal agus an tantalam os a chionn, toisc go bogann síol éillithe an fhadhb comhéadan amháin níos faide síos.
Tinne Niobium Íonacht: 99.99% Toisí Uasta: 400mm Meáchan uasta: 2 tonna Pacáistiú: Fillte i scannán stráice. Tá boscaí seachtracha pacáilte i cliathbhoscaí adhmaid atá neamhdhíobhálach don onnmhairiú le péarla ... Féach Táirge → Cén Fáth a Sonraíonn Foirne Quantum agus Leathsheoltóra an Chéim Alfa
I gcubit superconducting, léirítear gach foinse caillteanais mar aga comhleanúnachais níos giorra. Ní mionsonraí cosmaideacha é an chéim, athraíonn sé ceithre rud ag an am céanna:
- caillteanas micreathonn. Coinníonn frithsheasmhacht sa raon 15 go 25 µΩ·cm caillteanais athshondais agus idirnasc íseal, rud a shimplíonn dearadh ciorcad.
- Corrlach oibriúcháin. Coimeádann teocht trasdula gar do 4.4 K gléasanna ag sársheoladh go compordach ag teocht caolúcháin-cuisneoir, le spás cloiginn do théamh áitiúil.
- Caighdeán an chomhéadain. Táirgeann scannáin alfa a fhástar ar shaphir nó ar chiseal síolta ceart comhéadain miotail-go-foshraith níos géire agus níos lú lochtanna córais dhá leibhéal, an mheicníocht dí-chomhleanúnachais ceannasach i dtrasmhónna plánacha.
- Iompar bacainn. Sa chás go bhfeidhmíonn tantalam mar bhacainn idirleata copair i stoic idirnasctha, is fearr le scannán dlúth BCC ná ceann tetragonal scagach.
Is intomhaiste an íocaíocht airgid. Thaispeáin obair a foilsíodh in 2021 cuabanna trasmhíne tantalam-bhunaithe ar shapaí níos mó ná 0.3 milleasoicind de chomhleanúnachas, roinnt uaireanta an méid a sheachadadh gléasanna inchomparáide niobium agus alúmanaim. Ní atáirgeann an toradh sin ach amháin nuair atá an scannán céim alfa, íseal i ocsaigin agus comhsheasmhach ó wafer go sliseag.
Ó Thinne go Sprioc: An Slabhra Íonachta taobh thiar de Alpha-Ta
Tosaíonn gléas-grád α-Ta i bhfad roimh an seomra sputter. Ritheann an slabhra tionsclaíoch ó íonú agus leá trí réitigh, ansin go dtí rolladh, brionnú nó meaisínithe isteach sa spriocchéimseata a éilíonn an uirlis. Cuireann gach céim an t-éilliú ocsaigine agus miotalach a shainíonn d'fhuinneog céime nó a bhaint as.
1. Íonú 2. Leáphointe 3. Réitigh 4. Próiseáil
Scéimreach: na ceithre chéim den slabhra soláthair tantalam in ord próiseála (1 go 4). Tá deighleoga comhionann ó thaobh méide le haghaidh léiriú amháin agus ní léiríonn siad sciar den chostas, den am ná den riosca éillithe.
Tá aird tuillte ag dhá uimhir sa slabhra sin. Is é an chéad cheann íonacht: tá tantalam 4N (99.99%) coitianta, sonraítear 5N (99.999%) don obair is íogaire do chaillteanais, agus ní hé an rud is tábhachtaí ná an ceannlíne ach na teorainneacha aonair ar sóidiam, potaisiam, iarann, copar, tungstain agus moluibdín, speicis maighnéadacha agus soghluaiste a dhíghrádaíonn comhleanúnachas fiú ag leibhéil ppm. A tinne tantalam a tháirgtear trí leá i bhfolús tugann sé pointe tosaigh níos glaine ná bealach scrap ath-leáite, agus maireann an difríocht sin an bealach ar fad isteach sa scannán.
Is ocsaigin an dara uimhir. Go ginearálta coinnítear tantalam de ghrád leictreonach go maith faoi 100 ppm, agus ba cheart go dtiocfadh an tuarascáil anailíse ó GDMS do rianmhiotail chomh maith le comhleá gáis támh le haghaidh ocsaigine, nítrigine agus hidrigin. Tá struchtúr gráin agus ábhar dlúis chomh mór céanna ar an taobh sprice: sputtern sprioc dlúth le gráinní míne aonfhoirmeach ar ráta cobhsaí agus caitheann sé níos lú cáithníní, agus sruthaíonn ceann scagach nó garbh-ghráin agus cruthaíonn sé nodules a chríochnaíonn mar lochtanna scannáin.
soláthróir miotail ta íonachta ard Tinne tantalam Íonacht: 99.99% Uasmhéid: Meáchan uasta Inoiriúnaithe: Pacáistiú Inoiriúnaithe: Fillte i scannán stráice. Tá boscaí seachtracha pacáilte i woo atá neamhdhíobhálach don onnmhairiú ... Féach Táirge → Sonraíochtaí Ceannaigh Is fiú iad a Scríobh San PO
Leanann formhór na bhfadhbanna céime a shroicheann iontach siar go dtí ordú ceannaigh a chuir síos ró-scaoilte ar an miotal. Is iad seo na réimsí ar fiú iad a lua go sainráite seachas iad a fhágáil faoi “chaighdeán tráchtála caighdeánach”.
| Sonraíocht | Sprioc phraiticiúil | Cén fáth go bhfuil sé tábhachtach |
|---|---|---|
| Bulc íonachta | 4N5 go 5N, deimhnithe in aghaidh an chrannchuir | Socraíonn sé an bunlíne le haghaidh rialú rianmhiotail |
| Ocsaigin | Faoi bhun 100 ppm, faoi bhun 50 ppm le haghaidh scannáin atá ríthábhachtach do chailliúint | Ocsaigin stabilises beta phase and raises interface loss |
| Rianta maighnéadacha (Fe, Ni, Cu) | Uasteorainneacha ppm comhaontaithe, tuairiscithe ag GDMS | Giorraíonn leibhéil ppm fiú comhleanúnachas qubit |
| Miotail alcaile (Na, K) | ppm aon dhigit | Sreabhann iain shoghluaiste faoi laofacht i stoic ocsaíde |
| Dlús | 99% de na teoiriciúil nó níos airde | Ciallaíonn porosity íseal níos lú cáithníní agus ráta cobhsaí |
| nascáil | Saor ó fholús, arna fhíorú ag C-sca | Bíonn áiteanna folmha ina gcúis le spotaí te, arcing agus teip luath ar an sprioc |
| Inrianaitheacht | Taifid leibhéal lota faoi ISO 9001 agus IATF 16949 | Déanann sé turas céime inrianaithe siar go hábhar |
Iarr lamháltais ar thiús, maoile agus méid gráin chomh maith. Cosnóidh sprioc a chomhlíonann éileamh íonachta ach a chailleann lamháltas tríthoiseach fós feachtas sputter duit, agus le haghaidh feidhmchláir leathsheoltóra , tá athcháiliú i bhfad níos daoire ná an miotail féin.
CCanna
An féidir liom alpha-Ta a fháil ar sliseog teocht an tseomra?
Sea, le cabhair. Ligeann ciseal síl tanaí Nb nó TaN do α-Ta núicléasú ag nó in aice le teocht an tseomra mar go gcuireann an teimpléad deireadh leis an ngá atá le soghluaisteacht ard adatom. Gan ciseal síl, de ghnáth tugann sil-leagan teocht an tseomra ar shileacan ocsaídithe céim béite.
An bhfuil tantalam 5N níos fearr i gcónaí ná 4N?
Ní go huathoibríoch. Is féidir le dhá chrann 5N le leibhéil éagsúla ocsaigine agus iarainn iad féin a iompar an-difriúil san uirlis sputter céanna. Déan comparáid idir an deimhniú anailíse iomlán seachas líon na naoi gcinn ar an lipéad.
Conas a dheimhním cén chéim a fuair mé i ndáiríre?
Is é díraonadh X-gha an freagra díreach: taispeánann α-Ta machnamh BCC (110) gar do 38.5 céim, agus aithnítear β-Ta ag a bhuaic (002) gar do 33.6 céim. Is proxies tapa iad friotaíocht bileog agus cóimheas friotaíochta iarmharach, ós rud é go suíonn scannáin alfa ag friotachas íseal agus scannáin béite ag roinnt uaireanta an luach sin.
Is fadhb rialaithe céime é Alpha-Ta a thosaíonn leis an miotal, ní leis an t-oideas. Faigh an próifíl ocsaigine agus rian miotail ceart, coinnigh an struchtúr dlús agus gráin faoi smacht, agus fanann an fhuinneog próisis leathan go leor le bheith ag obair leis. Táirgeann CRNMC tantalam ultra-ard-íonachta agus miotail ghaolmhara trí íonú, leá, réitigh agus próiseáil, thar chúig bhonn táirgeachta agus ocht dteaghlach ábhar, faoi ISO 9001 agus IATF 16949, agus tairgeann sé tástáil íonachta taobh le tacaíocht ordú caighdeánach. Seol an tsonraíocht a bhfuil do chruach scannán ag obair chuige, agus inseoimid duit cad is féidir a bhaint amach ó thaobh an stoic chothaithe.
CÉ MUID
Bunaíodh Ningbo Chuangrun New Materials Co., Ltd (CRNMC) i mí an Mheithimh 2012 agus tá cúig bhonn táirgeachta aige ar fud na Síne. Táimid tiomanta do íonú, leá, réitigh, agus próiseáil tíotáiniam ard-íonachta, nicil, copar, niobium, cóbalt, etc., agus soláthraímid raon iomlán de mhiotail ghrád leictreonacha, mar shampla criostail leictrealaíoch ard-íonachta, dtinní, tinní brionnaithe, púdair, agus plátaí.
Tá ár bhfoireann comhdhéanta de shaineolaithe tionscail agus foireann fiontraíochta de 40 gairmí le cúlra miotalóireachteach, agus tá gach duine acu tiomanta do thionsclaíocht ábhar ard-deireadh.
Faoi láthair, tá leagan amach a slabhra tionscail ábhar ultra-íon críochnaithe ag an gcuideachta chun cáilíocht, seachadadh ar-am, agus seirbhís fheabhsaithe do chustaiméirí a chinntiú.
Tá an fhoireann ar fad tiomanta agus spreagtha agus táim ag tnúth le freastal ar riachtanais an chustaiméara.
DEIMHNITHE
RÉAMHAS & MEÁIN
